リニアモータ、単軸ロボット、卓上ロボットなどの電動アクチュエータのことならお任せください。
カスタム、OEM対応も致しております。

エアベアリングステージ

エアベアリングステージLBTシリーズ
Class1クリーンルーム対応。ストロークは50mm～500㎜。エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能。真直度、平面度は0.5um/300mm。ピッチング、ヨーイングは±2arc sec
コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能

高精度鉄製リニアステージ

半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹介。標準化により低コスト、短納期を実現しております。XYステージのラインナップもございます。

リニアモータ

従来のボールねじを使用した製品と比べ長寿命、高速、高精度、ロングストロークでの運転が行えます。また、自社工場にて部品加工から組み立てを一貫して行うことにより低コスト、短納期を実現。特にコストにおいてはボールねじを使用した製品と同等の価格となっており、従来ボールねじを使用していた生産ラインの更新に最適です。

単軸ロボット

クローズドループ方式ステッピングモータドライバ付き短軸ロボット、モータレスタイプもございます。

卓上ロボット

3軸タイプ卓上型ロボット。コンパクトな卓上型としてワークスペースを柔軟にレイアウトできます。特徴として、最高速度850mm/s、繰り返し精度±10μm。CAD図（DXF）からポイントを取得しルート編集が可能。

電動グリッパ

TM Robotとプラグアンドプレイ実現し使いやすさを実現しております。

アクチュエータ

X,Y,Zの3軸として組み上げた製品もラインナップしております。他の製品についてもお気軽にご相談ください。

その他

短ストロークもラインナップしております。