エアベアリングステージ 高精度鉄製リニアステージ LXY 2024年3月8日 ストローク:±150(mm)位置決め精度:±0.3(N)繰り返し位置決め精度:150(N)定格推力:579(N)最大推力(mm):695(N)標準ストローク:50~500(mm)真直度/平面度:±1.5/±3(um)エンコーダ分解能:1~0.05(um)可搬重量:10(kg)