エアベアリングステージ 高精度鉄製リニアステージ LBT-275 2024年3月11日 ストローク:50~500(50mm毎)(mm)位置決め精度:±0.15~±10(N)繰り返し位置決め精度:±0.1~±1(um)定格推力:139(N)最大推力(mm):695(N)標準ストローク:50~500(mm)最高速度:2(mm/s)真直度/平面度:±1.5/±3(um)エンコーダ分解能:1~0.05(um)可搬重量:50(kg)エア消耗量:<35(L/min)